电子工业

        

 

气体分类

应用场合及用途

氮气

通常用于冷却及清除程序,氮气在电子及半导体产品的生产中不可或缺。

氩气

具有高稳定性及极低的反应性,氩气是太阳能及半导体薄片生产中的关键气体。

氢气

许多电子制造商均使用氢气,氢气可作为薄膜沉积的载运气体以及炉处理中的还原剂。

二氧化碳

高纯度二氧化碳有助于清洗应用中超小颗粒的清除,在关键半导体层的干燥中,可以防止光刻胶的崩溃。

氦气

氦气在平板显示器市场起着重要作用,可用作冷却剂,同时也是半导体设备制造所需受控环境中的重要组成部分。